三維磁場探針臺能提供一維 、二維 、三維的磁場探針臺，采用無磁材料制成，一維 、二維 、三維三對亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間一維 、二維 、三維磁場。線圈可采用風冷（磁場較小）也可采用水冷結(jié)構(gòu)（磁場較大），并且配備有線圈過熱保護裝置。和高精度雙性直流電源配合使用可以長時間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。

應(yīng)用范圍：廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫(yī)學等領(lǐng)域。三維探針臺和高精度雙性電源相匹配，通過真正的雙性電源輸出，實現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場合成。

 可選附件：

t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線

t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置

t Chuck運動裝置

t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級

t 超高溫升級選件

t 超高真空升級選件

t 各類探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉(zhuǎn)接頭      

t 靜音真空泵

 技術(shù)指標：