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光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測(cè)試儀

光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測(cè)試儀

簡(jiǎn)要描述:SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測(cè)試儀是一款CIS/ALS/Light-Sensor晶圓測(cè)試儀,它結(jié)合了高度均勻的光源和半自動(dòng)晶圓探測(cè)器。

產(chǎn)品型號(hào): SG-O

所屬分類:光焱量子效率測(cè)量系統(tǒng)

更新時(shí)間:2024-10-10

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

詳情介紹
品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子

提供您在CIS/ALS/光傳感器晶圓級(jí)測(cè)試中所需的一切。

SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測(cè)試儀是一款CIS/ALS/Light-Sensor晶圓測(cè)試儀,它結(jié)合了高度均勻的光源和半自動(dòng)晶圓探測(cè)器。高度均勻光源可以提供從400nm到1700nm的連續(xù)白光光譜,以及在許多不同波長(zhǎng)下具有一定FWHM的單色光輸出。探測(cè)器可以處理大。200mm晶圓尺寸和尺寸大于1cmx1cm的單芯片。SG-O集成了超低噪音熱卡盤,可提供 -60°C至180°C的溫度范圍,具有快速的升溫速度和穩(wěn)定性。SG-O提供您在CIS/ALS/光傳感器設(shè)計(jì)驗(yàn)證或工藝良率檢查中所需的一切。


SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測(cè)試儀特點(diǎn):

●高度均勻的光源

從 UV 到 SWIR 的寬光譜范圍

超過(guò)50mmx50mm區(qū)域的高度均勻性超過(guò)98%

超穩(wěn)定光強(qiáng)度,可維持不穩(wěn)定性<0.2%長(zhǎng)達(dá)10小時(shí)以上

高光強(qiáng)動(dòng)態(tài)范圍,高達(dá)140dB

可編程自動(dòng)探測(cè)器

200mm~10mm晶圓或芯片處理能力

用于準(zhǔn)確可靠的DC / CV、RF測(cè)量

穩(wěn)定的功能顯微鏡系統(tǒng)

整合硬件控制面板

自動(dòng)晶圓裝載機(jī)

智能晶圓映射

寬溫低噪音卡盤

模塊化卡盤

-80°C至180°C的寬溫度范圍

*CDA熱控制技術(shù),高斜坡率和高T穩(wěn)定性

用于CIS/ALS/光傳感器晶圓測(cè)試的超低噪聲


應(yīng)用:

CIS/ALS/光傳感器晶圓測(cè)試

CIS/ALS/光傳感器晶圓映射和良率檢查

ToF傳感器測(cè)試

激光雷達(dá)傳感器測(cè)試

InGaAs PD測(cè)試

SPAD傳感器測(cè)試

光傳感器模擬參數(shù)測(cè)試:

量子效率

光譜響應(yīng)

系統(tǒng)增益

靈敏度

動(dòng)態(tài)范圍

暗電流/噪聲

信噪比

飽和容量

線性誤差(LE)

DCNU(暗電流非均勻性)

PRNU(光響應(yīng)非均勻性)


系統(tǒng)設(shè)計(jì):

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor測(cè)試儀(晶圓級(jí))系統(tǒng)圖。高度均勻的光源由PC-1控制。光輸出由光纖引導(dǎo)到光學(xué)均化器以產(chǎn)生均勻的光束。顯微鏡和均質(zhì)器由PC-1的自動(dòng)平移臺(tái)控制,以切換位置和功能。Prober系統(tǒng)為MPI TS2000,由PC-2 控制??ūP臺(tái)的位置也由PC-2控制。熱卡盤溫度可控制在-55℃至180℃,涵蓋了大部分 IC測(cè)試溫度范圍。光強(qiáng)度由一個(gè)Si 光電探測(cè)器和一個(gè)InGaAs光電探測(cè)器通過(guò)皮安電流表檢測(cè)和校準(zhǔn)。


規(guī)格:

高度均勻的光源

光譜范圍:400nm至1700nm

色溫:3000K至5200K

均勻照明面積:42mmx25mm,工作距離>200mm

照度均勻度:優(yōu)于98%

短期光不穩(wěn)定性:≤1%超過(guò)1小時(shí)

長(zhǎng)期光不穩(wěn)定性:≤1%超過(guò)10小時(shí)

DUT與后一個(gè)光學(xué)組件之間的工作距離:≥200mm工作距離


單色光生成:

10nm FWHM 中心波長(zhǎng):420nm,450nm,490nm,510nm,550nm,570nm,620nm,670nm,680nm,710nm,780nm,870nm

25nm FWHM 中心波長(zhǎng):1010nm,1250nm,1450nm

45±5nm FWHM 中心波長(zhǎng):815nm

50nm FWHM 的中心波長(zhǎng):1600nm

60±5nm FWHM 中心波長(zhǎng):650nm

70±5nm FWHM 的中心波長(zhǎng):485nm,555nm

100±5nm FWHM 的中心波長(zhǎng):1600nm

帶外透光率≤0.01%

帶通區(qū)峰值傳輸≥80%

中心波長(zhǎng)容差:(a)≤±2nm;(b)~(g)≤±5nm

FWHM容差:(a)≤±2nm;(b)~(g)≤±5nm

可變衰減器:PC控制的3-decade分辨率,至少1000步


半自動(dòng)晶圓探針

晶圓尺寸能力:200mm、150mm、100mm晶圓和尺寸大于1cmx1cm的單芯片

晶圓處理:?jiǎn)尉A,手動(dòng)進(jìn)料型

半自動(dòng)化:一步手動(dòng)對(duì)準(zhǔn)教和自動(dòng)模步進(jìn)


XYZ 平臺(tái)

卡盤 XY 載物臺(tái)行程:210mmx300mm

卡盤 XY 平臺(tái)分辨率:優(yōu)于0.5um

夾頭 XY 平臺(tái)精度:優(yōu)于2.0um

卡盤 XY 平臺(tái)速度:慢:10微米/秒,快:50毫米/秒

Chuck Z 載物臺(tái)行程:50mm

Chuck Z 平臺(tái)分辨率:0.2um

卡盤 Z 平臺(tái)精度:±2.0um


Theta平臺(tái)

Theta載物臺(tái)行程:±5度運(yùn)動(dòng)范圍

Theta分辨率:優(yōu)于0.01度

Theta精度:0.1度


卡盤

卡盤平整度≤10um

卡盤熱操作:-60°C至200°C

25°C時(shí)的卡盤泄漏:25°C時(shí)在10V偏壓下每個(gè)電壓≤20fA

卡盤剩余電容≤95fF


探針卡

探針卡尺寸:4.5英寸至8英寸長(zhǎng)

探針卡座與壓板之間的間隙:≥7.5mm


微型腔室

EMI屏蔽:在 1kHz 至 1MHz 范圍內(nèi)≥30dB

系統(tǒng)交流噪聲:≤ 5mVp -p


微型定位器

顯微鏡

隔振臺(tái)


光譜輻照度計(jì)

光譜范圍:400nm至1600nm

波長(zhǎng)分辨率:400nm到1000nm 增加步長(zhǎng)<1nm;1000nm到1600nm 增加步長(zhǎng)<3.5nm

校準(zhǔn):NIST可追溯校準(zhǔn)證書(shū)


主要表現(xiàn)

SG-O系統(tǒng)的操作軟件。對(duì)于高度均勻光源控制軟件,SG-O提供光源系統(tǒng)控制和光強(qiáng)測(cè)量。提供了各個(gè)光學(xué)組件的 Labview功能調(diào)色板、驅(qū)動(dòng)程序/DLL文件。該軟件控制所述平移臺(tái)以促進(jìn)照射大是在零件的設(shè)備。集成鏈接的整合包括發(fā)送/接收命令,例如芯片步進(jìn)、芯片對(duì)齊/探測(cè)等。



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